Semitron™ MPR 1000 PAI là dòng PAI có khả năng chịu nhiệt vượt trội cùng mức độ thoát khí (outgassing) và ăn mòn plasma rất thấp trong buồng plasma.
Vật liệu có độ tinh khiết cao và hàm lượng ion thấp, thường được lựa chọn cho các ứng dụng buồng chân không trong:
• Etch
• CVD
• Ion Implant
thuộc ngành bán dẫn và điện tử.
Semitron™ MPR 1000 PAI có tuổi thọ vượt trội so với các vật liệu truyền thống, trong một số trường hợp có thể cao hơn tới 25 lần so với polyimide trong môi trường ozone.
Nhờ độ bền cao, vật...
Liên hệ