danh sách sản phẩm
Semitron™ MPR 1000 PAI là dòng nhựa kỹ thuật hiệu suất cao được thiết kế chuyên biệt cho các ứng dụng buồng chân không và plasma trong ngành bán dẫn và điện tử. Vật liệu sở hữu khả năng chịu nhiệt vượt trội, độ thoát khí thấp (low outgassing) và khả năng chống xói mòn hiệu quả trong môi trường plasma khắc nghiệt.
Nhờ độ tinh khiết cao và hàm lượng ion thấp, Semitron™ MPR 1000 PAI thường được sử dụng trong:
- Buồng chân không (Vacuum Chamber)
- Hệ thống Etch
- CVD
- Ion Implant
Ưu điểm nổi bật của Semitron™ MPR 1000 PAI
- Hàm lượng ion thấp và độ thoát khí thấp
- Khả năng chịu nhiệt rất cao
- Giảm tốc độ xói mòn trong buồng plasma
- Chống sứt mẻ tốt, độ bền cao
- Gia công cơ khí chính xác tốt
- Thiết kế chuyên biệt cho môi trường bán dẫn khắt khe
So với các vật liệu truyền thống như polyimide, quartz, ceramic và nhiều loại nhựa kỹ thuật khác, Semitron™ MPR 1000 PAI có tuổi thọ vượt trội. Trong một số ứng dụng ozone, tuổi thọ vật liệu có thể cao hơn đến 25 lần so với polyimide.
Dạng vật liệu cung cấp
- Thanh tròn đặc (Rod)
- Tấm (Plate)
Ứng dụng phổ biến
- Linh kiện buồng plasma
- Chi tiết trong buồng chân không
- Jig bán dẫn
- Thiết bị xử lý wafer
- Linh kiện chịu nhiệt và chống xói mòn plasma
Đặc điểm nổi bật chưa được kích hoạt
Chức năng đánh giá chưa được kích hoạt